高频输出 300W（PDC200型）/500W（PDC210/510型）
电极尺寸 250×170mm（PDC200/210型）/410×170mm（PDC510型）
使用等离子的表面处理装置。着重于“使用简单”的台式高性能型号，调取数据简单，以电子材料为中心，可对应多种用途。
等离子灰化机PDC200/210/510用途
● CSP、BGA、COB基板的等离子清洗
● 去除有机膜和金属氧化膜
● 印刷电路基板的干式清洗
● 界面活性处理
● LED封装
等离子灰化机PDC200/210/510特征
● DP模式（PDC510标配·PDC200/210选配）
● RIE模式
● 均匀性高的电极构造
● 操作简单的触摸屏控制器
等离子灰化机PDC200/210/510内槽
构成图
DP模式
PDC510标配）
PDC200/210选配）
R IE模式
等离子灰化机PDC200/210/510规格
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型号
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PDC200
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PDC210
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PDC510
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等离子模式
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RIE（DP模式选配） | ||
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电极构造
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平行平板（固定） | ||
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高频输出
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Max300W
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Max500W
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频率
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13.56M
Hz
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控制·显示
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液晶触摸屏
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反应室尺寸
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W400×D250×H150mm
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W500×D300×H200mm
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电极尺寸
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W250×D170mm
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W400×D200mm
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反应室材质
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铝
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反应气体
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2系统（Ar、O 2 ）
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填充气体
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N 2 或干燥空气
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反应气体流量控制
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流量计
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聚合控制器
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真空泵
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另行选配
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油泵（约345L/分）标配
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油泵（约500L/分）标配
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气体导入口
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反应气体2个、填充气体1个
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外形尺寸
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W540×D600×H600mm
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W540×D600×H600mm
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W700×D700×H1285mm
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重量
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约100kg
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约105kg
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约180kg
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电源
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单相 AC100V 10A
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三相AC200V 6A
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三相AC200V 8A
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